公开/公告号CN107817362B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-21
原文格式PDF
申请/专利权人 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司;
申请/专利号CN201710981982.0
申请日2017-10-20
分类号
代理机构哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙);
代理人王艳萍
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区哈西大街与学府四道街交汇处第40栋-1-2层12号
入库时间 2022-08-23 10:56:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-21
授权
授权
2019-08-30
专利申请权的转移 IPC(主分类):G01P5/26 登记生效日:20190812 变更前: 变更后: 申请日:20171020
专利申请权、专利权的转移
2019-08-30
专利申请权的转移 IPC(主分类):G01P 5/26 登记生效日:20190812 变更前: 变更后: 申请日:20171020
专利申请权、专利权的转移
2018-04-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P5/26 申请日:20171020
实质审查的生效
2018-04-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P5/26 申请日:20171020
实质审查的生效
2018-04-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 5/26 申请日:20171020
实质审查的生效
2018-03-20
公开
公开
2018-03-20
公开
公开
2018-03-20
公开
公开
2018-03-20
公开
公开
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