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非晶含锡有机膜的热处理行为

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摘要

射频辉光放电等离子体聚合四丁基锡制备了非晶含锡有机膜，研究了该膜在大气中的热处理行为。表明在不同热处理温度下，发生了锡的氧化、有机物脱除、晶化和相变等过程。

著录项

来源
《薄膜科学与技术》 |1995年第4期|356-361|共6页
作者
周坤磷; 刘维民;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类热处理;
关键词
含锡有机膜; 热处理; 晶化; 相变;

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