声表面波传感器在高温领域应用的研究进展

潘小山; 杨璐羽; 王琴; 李功燕

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声表面波传感器在高温领域应用的研究进展

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相比于其他类型的无线传感器,无线声表面波传感器能解决恶劣环境(如高温)下的探测问题.基于目前的声表面波传感器,阐述了声表面波技术的发展、工作模式和原理;结合当前声表面波在高温领域应用的研究状况,详细阐述了声表面波传感器在高温应用领域需要解决的问题以及适用于高温领域的声表面波传感器的材料;对声表面波传感器在高温领域中的应用和发展进行了总结和展望.

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来源
《传感器与微系统》 |2018年第6期|1-4,7|共5页
作者
潘小山; 杨璐羽; 王琴; 李功燕;
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作者单位

中国科学院微电子研究所,北京100029;

国网辽宁省电力公司电力科学研究院,辽宁沈阳110006;

中国科学院微电子研究所,北京100029;

中国科学院微电子研究所,北京100029;

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正文语种 chi
中图分类 TP212.9;
关键词
声表面波传感器; 高温; 材料;

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