基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计

蔡春丽; 刘志远; 王惠玲; 于海超; 王洪岩

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基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计

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设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器,介绍了该传感器的建模过程及其敏感元件的结构设计,并给出了流量传感器的详细设计方案.仿真和实测结果表明:该流量传感器既能对小流量信号敏感又能准确地反映大流量的输出,功耗低于0.1W,响应时间小于50ms,精度可达到0.6%FS,能够满足低功耗、快响应、高精度等性能技术指标的要求.

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来源
《传感器与微系统》 |2009年第6期|104-106,109|共4页
作者
蔡春丽; 刘志远; 王惠玲; 于海超; 王洪岩;
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作者单位

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
传感器; 气体流量; 热膜;

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