一种分析微悬臂梁大挠度变形的新算法

陆静; 向宇; 马晓强

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一种分析微悬臂梁大挠度变形的新算法

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考虑静电力边缘效应的影响,建立了微悬臂梁大挠度变形的静态变形分析模型,通过梁弯曲理论将控制方程化为一阶非线性微分方程组,结合非线性方程组求根、迭代修正齐次扩容精细积分法和增量迭代法,提出了一种分析微悬臂梁大挠度变形的半解析、半数值算法.数值算例表明:该方法具有较高的精度和稳定性,是分析微悬臂梁变形的一种有效方法;通过对微梁静态特性的分析表明:考虑边缘效应后微梁的吸合电压减小,考虑大挠度变形的影响后微梁的吸合电压增加.

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来源
《传感器与微系统》 |2008年第7期|93-95,101|共4页
作者
陆静; 向宇; 马晓强;
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作者单位

广西工学院汽车工程系,广西,柳州,545006;

广西工学院汽车工程系,广西,柳州,545006;

广西工学院汽车工程系,广西,柳州,545006;

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正文语种 chi
中图分类 TP211;
关键词
微悬臂梁; 打靶法; 迭代修正齐次扩容精细积分法; 增量迭代;

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