抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计

宫美梅; 王策; 金丽; 辛晨光; 李孟委

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抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计

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为了解决纳米光栅加速度计交叉轴干扰的问题,提出了一种原理可行、工艺可行的加速度计结构设计及加工方法。首先,介绍了双光栅加速度计的工作原理及结构组成,通过Ansys结构仿真和COMSOL双光栅仿真,验证了交叉轴干扰对双光栅离面加速度计性能测试不可忽略的影响。其次,提出了一种抗交叉轴干扰、且工艺简单的加速度计结构。仿真结果表明:该结构能有效避免交叉轴干扰,且具有较高的结构灵敏度。最后,基于SOI片对双光栅离面加速度计的加工方案进行完整描述,验证了这种加速度计加工方法的可行性及易操作性,为抗交叉轴干扰的离面加速度计设计和制作提供了思路。

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来源
《传感器与微系统》 |2022年第3期|20-23|共5页
作者
宫美梅; 王策; 金丽; 辛晨光; 李孟委;
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作者单位

中北大学信息与通信工程学院;

中北大学仪器与电子学院;

中北大学前沿交叉科学研究院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类位移测量仪表;
关键词
加速度计; 纳米光栅; 交叉轴干扰; 结构设计; 工艺加工;

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