HT—7U装置第一壁抗热冲击SiC厚膜涂层研究

陈俊凌; 梁荣庆; 等

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为实现HT－7U装置长脉冲运行的物理目标，在碳石黑第一壁材料的改性研究中和为保证在稳定的长平顶阶段对大部分杂质和再循环的控制，提出了研制抗等离了体溅射腐蚀的梯度功能涂层的概念，研究了通过化学气化CVR和化学气相渗透CVI2种技术实现SiC厚膜梯度涂的方法，通过实验研究发现CVI法实现的SiC涂层有更厚，更致密，更好的梯度性和很好的抗热冲等综合性能，适于作为HT－7U装置第一壁高通量部件上的保护涂。

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来源
《真空与低温》 |2000年第4期|207-212|共6页
作者
陈俊凌; 梁荣庆; 等;
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作者单位

中国科学院等离子体物理研究所;

安徽合肥230031;

中国科学院等离子体物理研究所;

安徽合肥230031;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TL631.24;
关键词
第一壁; HT－7U装置; 抗热冲击; 碳化硅涂层;

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