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王呈祥; 侯占强; 肖定邦; 吴学忠;
国防科技大学智能科学学院湖南省MEMS工程技术中心;
MEMS; 谐振式; 高真空测量;
机译:用于SAFARI的TES型原型真空计的光学性能测量
机译:用于基于MEMS谐振器的真空测量系统的0.13μmCMOS接口电路
机译:扫描电子显微镜用于测量小型MEMS谐振器的真空品质因数
机译:用于高真空测量的MEMS型阻尼粘性真空计
机译:基于MEMS谐振器的真空测量系统的接口电路设计
机译:碱性蒸气MEMS电池技术向原子光谱用高真空自抽MEMS电池发展
机译:具有气流用于谐振器声学性能测量的试验台的研制
机译:用于微机电系统(mEms)谐振器测量的高阻抗缓冲放大器
机译:冷阴极电离真空计,具有该真空计的真空处理装置,用于其的放电开始辅助电极以及使用该真空计的压力测量方法
机译:冷阴极电离真空计,装有冷阴极电离真空计的真空处理设备,用于冷阴极电离真空计的放电启动辅助电极和测量方法
机译:热阴极电离真空计,配备有热阴极电离真空计的压力测量系统以及使用热阴极电离真空计的压力测量方法
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