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磁场中真空电弧液滴喷溅分析

         

摘要

分析了在外加磁场作用下,真空电弧镀膜中阴极靶面液池的受力情况,导出了液滴喷溅特性受磁场影响的关系式。结果表明,纵向磁场将使喷溅方向发生偏转,形成一发射角,液池所在位置不同发射角也不同。一维横向磁场将使液池发生偏心喷溅,加剧了液滴的发射;二维横向磁场则可减轻液池的喷溅。

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