电子轰击电荷耦合器件的研制

戴丽英; 黄士周; 刘德林; 扬卉

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电子轰击电荷耦合器件的研制

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作者采用多碱光电阴极、静电聚焦的电子透镜系统、背照CCD、高密度引脚的玻封结构以及超高真空处理技术，成功研制出了具有实时电子成像功能的电子轰击电荷耦合器件（Electron Bombarded Charge-Coupled Device，简称EBCCD）。该器件的主要结构和性能参数为：有效光阴极直径18mm、光谱响应范围400～850nm、光电阴极灵敏度200μA／lm、CCD像素数512×512、暗信号不均匀性18％。图1为该EBCCD样管实物照片，图2为该样管所输出的图像。

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来源
《真空电子技术》 |2006年第3期|70|共1页
作者
戴丽英; 黄士周; 刘德林; 扬卉;
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作者单位

南京电子器件研究所,南京,210016;

南京电子器件研究所,南京,210016;

南京电子器件研究所,南京,210016;

南京电子器件研究所,南京,210016;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电荷耦合器件;
关键词
电荷耦合器件; 电子轰击; 多碱光电阴极; EBCCD; 结构和性能; 真空处理技术; Device; 透镜系统; 静电聚焦; 电子成像;

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