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利用氦质谱检漏仪进行真空系统检漏

         

摘要

氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。大唐太原第二热电厂10号机组利用氦质谱检漏仪进行真空检漏,找出泄漏部位,以便采取措施进行细致的封堵处理,并做真空严密性试验,检验其是否达到合格水平。

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