射频源在刻蚀设备中的应用

赵涛; 张琪

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射频源在刻蚀设备中的应用

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介绍了射频源的工作原理，以及在刻蚀设备上的应用。通过自动匹配网络实现真空腔体内输出功率的大小。%This paper introduces the working principle of the RF source, and its application in etching equipment. The size of out put power in vacuum chamber is achieved by automatically matching network.

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来源
《价值工程》 |2013年第31期|45-45,46|共2页
作者
赵涛; 张琪;
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作者单位

西安电力电子技术研究所;

西安710061;

西安电力电子技术研究所;

西安710061;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电源;
关键词
射频源; 刻蚀设备; 匹配网络;

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