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压力对氯硅烷精馏的影响研究

         

摘要

对多晶硅生产过程中的(原料)氯硅烷的精馏分离进行了计算。分析了操作压力对氯硅烷精馏分离的影响,为氯硅烷精馏塔的设计和工艺操作提供理论依据。结果表明,低压力能起到更好的分离效果和更低的热源消耗,氯硅烷分离塔的操作压力宜控制在0.4 MPa(G)以下。

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