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首页> 美国卫生研究院文献>Sensors (Basel Switzerland) >Internal Model-Based Robust Tracking Control Design for the MEMS Electromagnetic Micromirror
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Internal Model-Based Robust Tracking Control Design for the MEMS Electromagnetic Micromirror

机译：基于内部模型的MEMS电磁微镜鲁棒跟踪控制设计

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The micromirror based on micro-electro-mechanical systems (MEMS) technology is widely employed in different areas, such as scanning, imaging and optical switching. This paper studies the MEMS electromagnetic micromirror for scanning or imaging application. In these application scenarios, the micromirror is required to track the command sinusoidal signal, which can be converted to an output regulation problem theoretically. In this paper, based on the internal model principle, the output regulation problem is solved by designing a robust controller that is able to force the micromirror to track the command signal accurately. The proposed controller relies little on the accuracy of the model. Further, the proposed controller is implemented, and its effectiveness is examined by experiments. The experimental results demonstrate that the performance of the proposed controller is satisfying.
机译：基于微机电系统（MEMS）技术的微镜已广泛应用于不同领域，例如扫描，成像和光学开关。本文研究了用于扫描或成像应用的MEMS电磁微镜。在这些应用场景中，要求微镜跟踪命令正弦信号，理论上可以将其转换为输出调节问题。本文基于内部模型原理，通过设计一种鲁棒的控制器来解决输出调节问题，该控制器能够迫使微镜准确地跟踪命令信号。所提出的控制器几乎不依赖于模型的准确性。此外，所提出的控制器得以实现，其有效性通过实验进行了检验。实验结果表明，该控制器的性能令人满意。

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