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首页> 美国卫生研究院文献>Sensors (Basel Switzerland) >Ultraprecision Real-Time Displacements Calculation Algorithm for the Grating Interferometer System
【2h】

Ultraprecision Real-Time Displacements Calculation Algorithm for the Grating Interferometer System

机译：光栅干涉仪系统的超精密实时位移计算算法

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Grating interferometry is an environmentally stable displacement measurement technique that has significant potential for identifying the position of the wafer stage. A fast and precise algorithm is required for real-time calculation of six degrees-of-freedom (DOF) displacement using phase shifts of interference signals. Based on affine transformation, we analyze diffraction spot displacement and changes in the internal and external effective optical paths of the grating interferometer caused by the displacement of the wafer stage (DOWS); then, we establish a phase shift-DOWS model. To solve the DOWS in real time, we present a polynomial approximation algorithm that uses the frequency domain characteristics of nonlinearities to achieve model reduction. The presented algorithm is verified by experiment and ZEMAX simulation.
机译：光栅干涉测量法是一种环境稳定的位移测量技术，具有很大的潜力可用于识别晶片台的位置。使用干扰信号的相移实时计算六个自由度（DOF）位移需要一种快速而精确的算法。基于仿射变换，我们分析了由晶片台（DOWS）的位移引起的衍射光斑位移以及光栅干涉仪内部和外部有效光路的变化；然后，我们建立了相移DOWS模型。为了实时解决DOWS问题，我们提出了一种多项式逼近算法，该算法利用非线性的频域特征来实现模型简化。实验和ZEMAX仿真验证了算法的有效性。

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