Programmable Low-Power Low-Noise Capacitance to Voltage Converter for MEMS Accelerometers

机译：MEMS加速度计的可编程低功耗低噪声电容电压转换器

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In this work, we present a capacitance-to-voltage converter (CVC) for capacitive accelerometers based on microelectromechanical systems (MEMS). Based on a fully-differential transimpedance amplifier (TIA), it features a 34-dB transimpedance gain control and over one decade programmable bandwidth, from 75 kHz to 1.2 MHz. The TIA is aimed for low-cost low-power capacitive sensor applications. It has been designed in a standard 0.18-μm CMOS technology and its power consumption is only 54 μW. At the maximum transimpedance configuration, the TIA shows an equivalent input noise of 42 fA/

\sqrt{Hz}

at 50 kHz, which corresponds to 100 μg/

\sqrt{Hz}

机译：在这项工作中，我们提出了一种基于微机电系统（MEMS）的电容式加速度计的电容电压转换器（CVC）。它基于全差分跨阻放大器（TIA），具有34dB的跨阻增益控制和超过75 kHz至1.2 MHz的十倍可编程带宽。 TIA适用于低成本，低功耗电容式传感器应用。它采用标准的0.18μmCMOS技术进行设计，功耗仅为54μW。在最大跨阻配置下，TIA显示的等效输入噪声为42 fA / <数学xmlns：mml =“ http://www.w3.org/1998/Math/MathML” id =“ mm1”溢出=“滚动” > Hz 在50 kHz，对应于100μg/

\sqrt{Hz< / mrow>。}

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期刊名称 Sensors (Basel Switzerland)
作者
Guillermo Royo; Carlos Sánchez-Azqueta; Cecilia Gimeno; Concepción Aldea; Santiago Celma;
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作者单位

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年(卷),期 2017(17),1
年度 2017
页码 67
总页数 10
原文格式 PDF
正文语种
中图分类
关键词
accelerometer capacitive sensing microelectromechanical systems (MEMS) synchronous demodulation transimpedance amplifier;

机译：加速度计;电容感应;微机电系统（MEMS）;同步解调;跨阻放大器;

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