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【24h】

A Low-Power Low-Noise Dual-Chopper Amplifier for Capacitive CMOS-MEMS Accelerometers

机译：用于电容式CMOS-MEMS加速度计的低功耗，低噪声双斩波放大器

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This paper reports a novel dual-chopper amplifier (DCA) and its application to monolithic complementary metal–oxide semiconductor–microelectromechanical systems accelerometers. The DCA design minimizes the power consumption and noise by chopping the sensing signals at two clocks. The first clock is a high frequency for removing the flicker noise while the second clock is a significantly lower frequency to keep the unit gain bandwidth low. A monolithic three-axis accelerometer integrated with the DCA on the same chip has been successfully fabricated using a post-CMOS micromachining process. The measured noise floors are 40 $mu$ g/$surd$ Hz in the $x$ - and $y$ -axis and 130 $mu$ g/$surd$ Hz in the $z$ -axis, and the power consumption is about 1 mW per axis.
机译：本文报道了一种新型的双斩波放大器（DCA）及其在单片互补金属氧化物半导体微机电系统加速度计中的应用。 DCA设计通过在两个时钟处斩波感测信号，将功耗和噪声降至最低。第一时钟是用于消除闪烁噪声的高频，而第二时钟是用于降低单位增益带宽的低得多的频率。使用后CMOS微加工工艺已成功制造了与DCA集成在同一芯片上的单片式三轴加速度计。测得的本底噪声在$ x $和$ y $轴上为40μmu$ g / $ surd $ Hz，在$ z $轴上为130μmu$ g / $ surd $ Hz，并且功耗每轴约为1 mW。

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