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Mechanism of flexural resonance frequency shift of a piezoelectric microcantilever sensor during humidity detection

机译：湿度检测过程中压电微悬臂梁传感器挠曲共振移频的机理

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We have examined the flexural resonance frequency shift of a piezoelectric microcantilever sensor (PEMS) during humidity detection and have shown that the flexural resonance frequency shift of the PEMS during detection was a result of Young’s modulus change of its piezoelectric layer. Because of the piezoelectric layer’s Young’s modulus change, the PEMS flexural resonance frequency shift was more than 300 times larger than could be accounted for by mass loading.
机译：我们已经检查了湿度检测过程中压电微悬臂梁传感器（PEMS）的挠曲共振频率偏移，并表明在检测过程中PEMS的挠曲共振频率偏移是其压电层的杨氏模量变化的结果。由于压电层的杨氏模量变化，PEMS弯曲共振频率偏移比质量加载所能解释的大300倍。

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