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Fast Response and High Sensitivity ZnO/glass Surface Acoustic Wave Humidity Sensors Using Graphene Oxide Sensing Layer

机译：使用氧化石墨烯传感层的快速响应和高灵敏度ZnO /玻璃表面声波湿度传感器

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We report ZnO/glass surface acoustic wave (SAW) humidity sensors with high sensitivity and fast response using graphene oxide sensing layer. The frequency shift of the sensors is exponentially correlated to the humidity change, induced mainly by mass loading effect rather than the complex impedance change of the sensing layer. The SAW sensors show high sensitivity at a broad humidity range from 0.5%RH to 85%RH with < 1 sec rise time. The simple design and excellent stability of our GO-based SAW humidity sensors, complemented with full humidity range measurement, highlights their potential in a wide range of applications.
机译：我们报告了使用氧化石墨烯传感层的高灵敏度和快速响应的ZnO /玻璃表面声波（SAW）湿度传感器。传感器的频移与湿度变化呈指数关系，湿度变化主要是由质量负载效应引起的，而不是感测层的复阻抗变化引起的。 SAW传感器在0.5％RH至85％RH的较宽湿度范围内显示出高灵敏度，且上升时间小于1秒。我们基于GO的SAW湿度传感器的简单设计和出色的稳定性，再加上完整的湿度范围测量，凸显了其在广泛应用中的潜力。

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