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【2h】

Functional Metallic Microcomponents via Liquid-Phase Multiphoton Direct Laser Writing: A Review

机译：液相多光子直接激光写入的功能性金属微组件的综述

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We present an overview of functional metallic microstructures fabricated via direct laser writing out of the liquid phase. Metallic microstructures often are key components in diverse applications such as, e.g., microelectromechanical systems (MEMS). Since the metallic component’s functionality mostly depends on other components, a technology that enables on-chip fabrication of these metal structures is highly desirable. Direct laser writing via multiphoton absorption is such a fabrication method. In the past, it has mostly been used to fabricate multidimensional polymeric structures. However, during the last few years different groups have put effort into the development of novel photosensitive materials that enable fabrication of metallic—especially gold and silver—microstructures. The results of these efforts are summarized in this review and show that direct laser fabrication of metallic microstructures has reached the level of applicability.
机译：我们提出了通过直接激光写入液相制备的功能金属微结构的概述。金属微结构通常是诸如微机电系统（MEMS）之类的各种应用中的关键部件。由于金属组件的功能主要取决于其他组件，因此迫切需要一种能够在芯片上制造这些金属结构的技术。通过多光子吸收的直接激光写入是这种制造方法。过去，它主要用于制造多维聚合物结构。然而，在最近几年中，不同的小组投入了很多精力来开发能够制造金属（尤其是金和银）微结构的新型光敏材料。这些工作的结果在本综述中进行了总结，表明直接激光制造金属微结构已达到适用性水平。

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