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【2h】

Lapping and Polishing of Crystalline KY(WO4)2: Toward High Refractive Index Contrast Slab Waveguides

机译：晶体KY（WO4）2的研磨和抛光：朝向高折射率对比平板波导

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Rare-earth ion-doped potassium yttrium double tungstate, RE:KY(WO ) , is a promising candidate for small, power-efficient, on-chip lasers and amplifiers. Thin KY(WO ) -on-glass layers with thicknesses ranging between 0.9 and 1.6 μm are required to realize on-chip lasers based on high refractive index contrast waveguides operating between 1.55 and 3.00 µm. The crystalline nature of KY(WO ) makes the growth of thin, defect-free layers on amorphous glass substrates impossible. Heterogeneous integration is one of the promising approaches to achieve thin KY(WO ) -on-glass layers. In this process, crystal samples, with a thickness of 1 mm, are bonded onto a glass substrate and thinned down with an extensive lapping and polishing procedure to the desired final thickness. In this study, a lapping and polishing process for KY(WO ) was developed toward the realization of integrated active optical devices in this material.
机译：稀土离子掺杂钾钇双钨酸稀土（RE：KY（WO））是小型，高能效，片上激光器和放大器的有希望的候选者。需要使用厚度在0.9到1.6μm之间的玻璃KY（WO）薄层，以实现基于工作在1.55到3.00 µm的高折射率对比波导的片上激光器。 KY（WO）的晶体性质使在无定形玻璃基板上无法生长无缺陷的薄层成为可能。异质集成是实现玻璃薄KY（WO）层的有前途的方法之一。在此过程中，将厚度为1毫米的晶体样品粘结到玻璃基板上，并通过广泛的研磨和抛光程序将其减薄至所需的最终厚度。在这项研究中，对KY（WO）的研磨和抛光工艺已朝着实现该材料中集成有源光学器件的方向发展。

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