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首页> 美国卫生研究院文献>Sensors (Basel, Switzerland) >An Optical Wavefront Sensor Based on a Double Layer Microlens Array
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An Optical Wavefront Sensor Based on a Double Layer Microlens Array

机译：基于双层微透镜阵列的光波前传感器

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摘要

In order to determine light aberrations, Shack-Hartmann optical wavefront sensors make use of microlens arrays (MLA) to divide the incident light into small parts and focus them onto image planes. In this paper, we present the design and fabrication of long focal length MLA with various shapes and arrangements based on a double layer structure for optical wavefront sensing applications. A longer focal length MLA could provide high sensitivity in determining the average slope across each microlens under a given wavefront, and spatial resolution of a wavefront sensor is increased by numbers of microlenses across a detector. In order to extend focal length, we used polydimethysiloxane (PDMS) above MLA on a glass substrate. Because of small refractive index difference between PDMS and MLA interface (UV-resin), the incident light is less refracted and focused in further distance. Other specific focal lengths could also be realized by modifying the refractive index difference without changing the MLA size. Thus, the wavefront sensor could be improved with better sensitivity and higher spatial resolution.
机译：为了确定光像差，Shack-Hartmann光学波前传感器利用微透镜阵列（MLA）将入射光分成小部分，并将其聚焦在像面上。在本文中，我们介绍了基于双层结构的长焦距MLA的设计和制造，该双层结构具有多种形状和排列，用于光学波前感测应用。较长的焦距MLA可以在确定给定波阵面下每个微透镜的平均斜率时提供高灵敏度，并且波阵面传感器的空间分辨率会随着检测器上微透镜的数量而增加。为了延长焦距，我们在玻璃基板上的MLA上方使用了聚二甲基硅氧烷（PDMS）。由于PDMS和MLA界面（紫外线树脂）之间的折射率差很小，因此入射光的折射较少，并且聚焦在更远的距离上。通过改变折射率差而不改变MLA尺寸也可以实现其他特定的焦距。因此，可以以更高的灵敏度和更高的空间分辨率来改善波前传感器。

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