Micromachined gas flow regulator for ion propulsion systems

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• 来源
  《IEEE Transactions on Aerospace and Electronic Systems》 |2002年第3期|p.982-988|共7页
• 作者

  Bruschi P.; Diligenti A.; Piotto M.;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 航空;
• 关键词

  aerospace propulsion; artificial satellites; flow control; microfluidics; micromachining; Si; absolute temperature; anodic bonding; borosilicate glass cover; fabrication process; gas mass flow dependence; inlet pressure; ion propulsion systems; micromachined gas flow;

  机译：航空航天推进;人造卫星;流量控制;微流体;微机械加工;硅;绝对温度;阳极键合;硼硅酸盐玻璃盖;制造工艺;气体质量流量依赖性;入口压力;离子推进系统;微机械气流;