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Compositional, Structural And Mechanical Characteristics Of Nc-tic/a-c:h Nanocomposite Films

机译：Nc-tic / a-c：h纳米复合薄膜的组成，结构和力学特性

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Nanocomposite nc-TiC/a-C:H films, with an unusual combination of superhardness, high elastic modulus and high elastic recovery, are prepared by filtered cathodic vacuum arc technique using the C_2H_2 gas as the precursor. The effects of filter coil current on compositional, structural and mechanical properties of the nc-TiC/a-C:H films have been investigated by X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), energy disperse spectroscopy (EDS), microindentation and tribotester measurements. XPS and Raman analyses show that composition and nanostructure of the nc-TiC/a-C:H films can be changed by varying the filter coil current. By selecting the proper value of filter coil current, 2.5 A, one can remarkably enhance the mechanical properties of films such as superhardness (43.6 GPa). The superhardness can be ascribed to the phase variation and the nanostructure.
机译：采用C_2H_2气体作为前驱体，采用过滤阴极真空电弧技术制备了具有超硬性，高弹性模量和高弹性回复率的非常规结合的纳米复合nc-TiC / a-C：H薄膜。通过X射线衍射（XRD），X射线光电子能谱（XPS），能量色散能谱（EDS）研究了滤波线圈电流对nc-TiC / aC：H膜的成分，结构和机械性能的影响，微压痕和三胎测量。 XPS和拉曼分析表明，可以通过改变滤波器线圈电流来改变nc-TiC / a-C：H膜的组成和纳米结构。通过选择合适的滤波器线圈电流值2.5 A，可以显着提高薄膜的机械性能，例如超硬度（43.6 GPa）。超硬度可归因于相变和纳米结构。

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