机译:通过Nd:YAG激光的后向照射增强清洁透明基板上的光刻胶膜的能力
Korea Adv Inst Sci & Technol, Aerosol & Particle Technol Lab, Dept Mech Engn, Taejon 305701, South Korea;
Korea Inst Geosci & Mineral Resources, Nanomat Grp, Mineral & Mat Proc Div, Taejon 305350, South Korea;
laser cleaning; photoresist; glass substrate; particle monitoring; backward irradiation; INDUCED REMOVAL; ORGANIC CONTAMINANTS; PHASE-EXPLOSION; ABLATION; PARTICLES; POLYMERS; SURFACES; SOLIDS; GLASS;
机译:通过向后照射Nd:YAG激光增强清洁透明基板上的光刻胶膜
机译:Nd3 +:YAG激光三次谐波辐照在玻璃和晶硅衬底上的非晶硅薄膜退火中的结晶和烧蚀
机译:通过脉冲激发YAG激光束和两个矩形调制的CW YAG激光束照射增强SUS304穿透力
机译:激光照射预制量提高金刚石薄膜粘附强度
机译:椭圆偏振光谱法表征透明基材上的不均匀透明薄膜。
机译:使用大气等离子体在聚合物基材上的透明防雾和自清洁TiO2 / SiO2薄膜
机译:准分子激光照射技术提高磁控溅射柔性透明导电膜的特性