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クリーンルーム向け横吹出し温度成層型空調システム

机译：洁净室的卧式井喷温度分层空调系统

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摘要

近年の半導体工場では，製造空間に求められる温 度，清浄度条件が緩和される一方で，より一層の省ェ ネルギー化が要求される。また，製品および製造装置 の高度化により装置熱負荷が増加しており，混合空調 システムの場合,天井にファンフィルタユニットを設置す る方法では，装置発熱による高温の上昇気流が，天井 からのダウンフローで冷却しきれずに熱だまりが発生す るため，新日本空調(株)は，クリーンルームおける装置発熱増加への対応と，省エネルギー化を両立する成層型の空調システムを開発した。
机译：在最近的半导体工厂中，放宽了制造空间中所需的温度和清洁条件，同时需要进一步的节能。此外，由于产品和制造设备的复杂性，设备的热负荷正在增加，在混合空调系统的情况下，在天花板上安装风扇过滤器单元的方法由于设备的发热而导致高温上升，从而降低了天花板的温度。由于无法通过流动将热量完全冷却，并且会发生热量积聚，因此，新日本空调有限公司开发了一种分层空调系统，以应对洁净室中设备热量的增加并节省能源。

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    《建築技術》 |2017年第11期|72-72|共1页
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