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机译:先进的机电一体化和MEMS器件
机译:一种使用先进的MEMS工艺对具有嵌入式垂直馈通的SOI-MEMS器件进行晶圆级气密封装的方法
机译:使用具有垂直馈通的SOI盖晶片的MEMS晶片级气密封装的先进MEMS工艺
机译:使用非侵入式可穿戴先进机电一体化系统和MEMS传感器智能自主膀胱监测智能自治治疗智能自主膀胱监测
机译:先进的MEMS(aMEMS)工艺用于制造具有嵌入式垂直馈通的晶圆级真空封装SOI-MEMS器件
机译:栅极氧化层和MEMS器件级封装中高级电介质的可靠性。
机译:借助先进的MEMS的即时医疗(POC)设备
机译:通过高级MEMS的护理点(POC)设备
机译:用于高级通信和相控阵雷达的piezomems器件