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自動車用MEMS光スキャナの研究動向

机译:汽车MEMS光学扫描仪的研究趋势

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摘要

本稿では,車載応用を目的としてMEMSスキャナについて主に二つの話題について報告した.第一は,自動運転のための走査型距離センサ応用である.レーザビームを走査するために,シリコンMEMSによるマイクロスキャナの利用が期待されている.広角度に走査でき,口径も大きいミラーを用いたスキャナが必要である.二軸の共振周波数を一致させて全周走査を目指す方式等を紹介した.第二には,運転支援のためのヘッドアップデイスプレイへの応用である.この場合は,一般表示用のレーザデイスプレイと同様のスキャナとなる.開発状況と問題点を述べた.さらに将来利用が期待される機能の高いスキャナの例にも触れた.これまでに自動車に多くMEMSセンサが搭載されているが,自動運転などの展開で,新しいMEMS部品が開発され,利用されることを望みたい.%MEMS scanner for automotive applications are described. The technological trends of the scanners used in laser distance measurement for automatic driving and those used in head-up display are introduced.The methods, problems,and new technologies of MEMS scanner are explained for high performance.
机译:在本文中,我们报告了有关车载应用的MEMS扫描仪的两个主要主题:第一个是自动驾驶的扫描距离传感器应用;用于扫描激光束的硅MEMS微型扫描仪。因此,需要使用能够广角扫描且孔径较大的反射镜的扫描仪,并且通过引入使两个轴的共振频率一致来对整个圆周进行扫描的方法。是用于平视显示器以提供驾驶支持的应用程序,在这种情况下,扫描仪与用于一般显示的激光显示器相同,描述了其发展状况和问题。我以一个高性能扫描仪为例,到目前为止,已经在汽车中安装了许多MEMS传感器,但我希望能够开发出新的MEMS零件,并随着自动驾驶技术的发展而使用。汽车的发展趋势是介绍了用于自动驾驶的激光测距的扫描仪以及平视显示器中使用的扫描仪。介绍了MEMS扫描仪的高性能方法,方法,问题和新技术。

著录项

  • 来源
    《自動車技術》 |2017年第2期|18-23|共6页
  • 作者

    羽根 一博;

  • 作者单位

    東北大学大学院 工学研究科ファインメカニクス専攻 (980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01);

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类
  • 关键词

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