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首页> 外文期刊>Canadian journal of electrical and computer engineering >Influence of micromachining on dynamic behaviour of MEMS structures
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Influence of micromachining on dynamic behaviour of MEMS structures

机译：微加工对MEMS结构动力学行为的影响

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Le domaine de la technologie micro système, comprenant les composants microélectroniques et micromécaniques, a un potentiel énorme pour la détection, l'actionnement et les machines au niveau micro de la matière dans presque tous les domaines d'intérêt à l'humanité, du séquençage de l'ADN aux systèmes de communication et d'information. Le succès des micromachines dépend de l'efficacité de la synthèse de la conception en incorporant les influences de la géométrie structurelle, du micromachinage, de la microfabrication et de l'environnement d'opération. Cet article présente et applique le principe de conditonnement des frontières afin de quantifier l'influence du micromachinage sur le comportement des microstructures. Un exemple d'une machine fabriquée à l'aide d'un procédé MEMS multiusager (PMMU) est aussi traité.%The field of microsystems technology, comprising both micromechanical and microelectronics components, has a tremendous potential for sensing, actuation and machines at the micro level of matter in almost every field of interest to humanity, from DNA sequencing to information and communication systems. The success of microdevices depends on the effectiveness of the design synthesis in incorporating the influences of structural geometry, micromachining, microfabrication and operating environment. This paper presents and applies the concept of boundary conditioning in order to quantify the influence of micromachining on the behaviour of microstructures. An example of a device fabricated through a multi-user microelectromechanical systems (MEMS) processes (MUMPs) process is also discussed in detail.
机译：包括微电子和微机械组件在内的微系统技术领域具有巨大的潜力，可用于从测序到人类感兴趣的几乎所有领域的物质微观层面的检测，驱动和机器从DNA到通讯和信息系统。微型机械的成功取决于结合结构几何形状，微加工，微型加工和操作环境的影响，从而综合设计的有效性。本文介绍并应用边界条件化原理，以量化微加工对微结构行为的影响。还讨论了使用多用户MEMS工艺（PMMU）制造的机器的示例。％包含微机械和微电子组件的微系统技术领域具有巨大的潜力，可用于感测，驱动和在机器上进行机械操作。从DNA测序到信息和通信系统，几乎是人类感兴趣的每个领域的微观物质。微型设备的成功取决于设计综合在兼顾结构几何，微加工，微型制造和操作环境等方面的有效性。本文提出并应用边界条件的概念，以量化微机械加工对微观结构行为的影响。还详细讨论了通过多用户微机电系统（MEMS）工艺（MUMP）工艺制造的设备的示例。

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