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机译:射频和微波等离子体增强化学气相沉积法沉积碳氮化硼(BCN)薄膜的表征科学出版物
机译:以三甲胺硼烷为分子前驱体,通过等离子体化学气相沉积法合成碳氮化硼(BCN)膜
机译:射频等离子体增强化学气相沉积法在高取向热解石墨上化学计量BCN膜的生长和表征
机译:射频等离子体增强化学气相沉积合成BCN膜的表征
机译:等离子体功率和沉积压力对等离子体增强化学气相沉积沉积的低介电常数等离子体聚合环己烷薄膜的影响
机译:微波等离子体在硼-碳-氮三元体系中合成薄膜增强了化学气相沉积。
机译:等离子体增强化学气相沉积系统合成高c轴ZnO薄膜及其紫外光探测器的应用
机译:射频和微波等离子体增强化学气相沉积法沉积碳氮化硼(BCN)薄膜的表征