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利用微波等离子体化学气相沉积法制备硒化铅薄膜的方法

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本发明属于红外探测技术领域，一种利用微波等离子体化学气相沉积法制备硒化铅薄膜的方法。该方法包括以下步骤：(1)采用热蒸发法在衬底上生长硒化铅薄膜；(2)采用微波等离子体化学气相沉积法处理硒化铅薄膜。本发明微波等离子处理方法没有导致硒元素流失，不改变原材料的元素构成与材料性质，仅烧结现象提高其结晶程度，增强光电性能。

著录项

公开/公告号CN112017945B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-11

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆大学;
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申请/专利号CN202010889166.9
发明设计人于乐泳;冯双龙;魏兴战;史浩飞;
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申请日2020-08-28
分类号H01L21/02(20060101);C23C16/30(20060101);C23C16/48(20060101);
代理机构11308 北京元本知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王美兰
地址 400714 重庆市北碚区方正大道266号
入库时间 2022-08-23 13:05:51

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