机译:电热微致动器的制造和表征方面
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机译:基于MEMS执行器的电热微器件的设计,制造和表征。
机译:具有电热微泵和玻璃芯片上细胞粘附氧气和pH值传感器的传感器化微流细胞培养系统的设计与表征
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机译:新型高模量离子源微致动器的制备及其机电性能