...
首页> 外文期刊>Elektronika >Epitaksja LP-MOVPE wysokorezystywnych warstw InP kompensowanych żelazem do zastosowania w kwantowych laserach kaskadowych
【24h】

Epitaksja LP-MOVPE wysokorezystywnych warstw InP kompensowanych żelazem do zastosowania w kwantowych laserach kaskadowych

机译:用于量子级联激光器的LP-MOVPE高电阻铁补偿InP层的外延

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

Quantum cascade lasers are one of the most sophisticated semiconductor devices. Their main applications are photoacoustic spectroscopy, medical diagnostics and harmful gas sensing. Some of them need continuous wavelength operation mode at room temperature. In order to assure proper working conditions it is necessary to apply efficient technics of heat dissipation from the laser core. One of the possibilities is to use highly-resistivity InP:Fe layers. In the present work there is elaboration of InP:Fe technology presented. Layers were deposited using LP-MOVPE technique at the AIXTRON system. There were TMIn, PH_3 and Cp2Fe materials used as a group Ⅲ, V and dopant sources. Test structures were investigated by the means of HRXRD, AFM and Ⅰ-Ⅴ measurement techniques.%Kwantowe lasery kaskadowe są jednymi z najbardziej wyrafinowanych przyrządów półprzewodnikowych. Znajdują zastosowanie m. in. w spektroskopii fotoakustycznej, diagnostyce medycznej czy detekcji śladowych ilości niebezpiecznych gazów. Niektóre z tych aplikacji wymagają pracy ciągłej lasera, w temperaturze pokojowej. Aby zapewnić odpowiednie warunki pracy, niezbędne jest zastosowanie wydajnej techniki odprowadzania ciepła z obszaru rdzenia lasera. Jedną z możliwości jest osadzenie wysokorezystywnych warstw InP:Fe. W niniejszej pracy zaprezentowano etapy opracowywania technologii InP:Fe do zastosowań w kwantowych laserach kaskadowych. Warstwy były osadzone techniką LP-MOVPE na stanowisku firmy Aixtron. Jako źródeł materiałów grup Ⅲ oraz Ⅴ użyto odpowiednio: TMIn oraz PH_3 (100%), natomiast atomy żelaza pozyskano z CP_2Fe, Przeprowadzono diagnostykę otrzymanych struktur za pomocą takich technik jak HRXRD, AFM czy pomiary elektryczne Ⅰ-Ⅴ.
机译:量子级联激光器是最复杂的半导体器件之一。它们的主要应用是光声光谱,医学诊断和有害气体传感。其中一些需要在室温下连续波长操作模式。为了确保适当的工作条件,有必要采用有效的激光核心散热技术。一种可能性是使用高电阻率的InP:Fe层。在本工作中,将详细介绍InP:Fe技术。使用LP-MOVPE技术在AIXTRON系统上沉积层。有TMIn,PH_3和Cp2Fe材料用作Ⅲ,V族和掺杂源。通过HRXRD,AFM和Ⅰ-Ⅴ测量技术对测试结构进行了研究。%Kwantowe激光kaskadowe Znajdujązastosowanie m。 in。w spektroskopii fotoakustycznej,诊断medycznej czy detekcjiśladowychilościniebezpiecznychgazów。 Niektórez tych aplikacjiwymagająpracyciągłejlasera,有温带pokojowej。 Abyzapewnićodpowiednie warunki pracy,neezbędnejest zastosowanie wydajnej techniki odprowadzaniaciepłaz obszaru rdzenia lasera。 Jednązmożliwości开玩笑osadzenie wysokorezystywnych warstw InP:Fe。 W innieszej pracy zaprezentowano etapy opracowywania inP:Fe dozastosowańw kwantowych laserach kaskadowych。 Warstwy,由Aytron公司的LP-MOVPE公司提供。 JakoźródełmateriałówgrupⅢorazⅤużytoodpowiednio:TMIn oraz PH_3(100%),纳托米斯断层żelazapozyskano z CP_2Fe,Przeprowadzonodiagnostystykęotrzymanych struktry zapomocątakich。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号