...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Elektronika >Badania porównawcze parametrów powierzchni gładkich metodami rozpraszania światła
【24h】

Badania porównawcze parametrów powierzchni gładkich metodami rozpraszania światła

机译：光散射法对光滑表面参数的比较研究

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

Opisano metody i aparaturę służącą do badania parametrów powierzchni opartą na następujących zasadach: pomiaru całkowitej mocy promieniowania rozproszonego przez powierzchnię (TIS), pomiaru kątowego rozkładu natężenia promieniowania rozproszonego (ARS) oraz pomiaru indykatrys promieniowania rozproszonego zmodyfikowaną metodą ARS. Głównym celem prac było porównanie wyników pomiarów chropowatości powierzchni uzyskiwanych za pomocą nowego układu TIS, tj. integratora fotodiodowego i sfery integracyjnej, a także doświadczalne sprawdzenie poprawności założeń przyjmowanych przy projektowaniu integratora. Dokonano tego na podstawie pomiarów za pomocą aparatury ARS rozkładów natężenia promieniowania, pomiarów długości autokorelacji nierówności powierzchni i innych. Badania przeprowadzono przy wykorzystaniu próbek wykonanych z materiałów charakteryzujących się wysokościami nierówności od ok. 0,5 do ok. 25 nm. Badania wykazały dużą zgodność wyników pomiaru chropowatości uzyskanych za pomocą integratora i innej aparatury oraz potwierdziły zasadność przyjętych założeń projektowych.%Methods and instruments destined for testing smooth surface parameters have been described in the paper. They are based on the following principles: total integrated scatter (TIS), angle-resolved scatter (ARS) and modified ARS method. The main purpose of investigations was comparing of roughness measurement results obtained using a novel TIS device, e.g., the photodiode integrator and the integrating sphere, as well as experimental proving validity of assumptions accepted when designing the integrator. They have been accomplished using ARS apparatus for measuring scatter distribution, r.m.s. roughness and autocorrelation length. Investigations have been performed using samples characterized by r.m.s. roughness from 0.5 nm to about 25 nm. They show a good compatibility of results obtained using the integrator and other instruments and confirm correctness of initial assumptions.
机译：基于以下原理描述了测试表面参数的方法和设备：通过表面测量散射辐射的总功率（TIS），测量散射辐射强度的角分布（ARS）和测量通过ARS方法修改的散射辐射指示剂。这项工作的主要目的是比较借助新的TIS系统（即光电二极管积分器和积分球）获得的表面粗糙度测量结果，以及在设计积分器时对假设的正确性进行实验验证。这是基于辐射强度分布的测量，表面不规则性的自相关长度的测量以及其他使用ARS设备进行的。使用由特征在于粗糙度高度为约0.5至约25nm的材料制成的样品进行测试。测试表明，使用积分器和其他设备获得的粗糙度测量结果具有很高的一致性，并证实了所采用设计假设的有效性。％本文中描述了用于测试光滑表面参数的方法和仪器。它们基于以下原理：总积分散射（TIS），角度分辨散射（ARS）和改进的ARS方法。研究的主要目的是比较使用新型TIS装置（例如光电二极管积分器和积分球）获得的粗糙度测量结果，以及设计积分器时接受的假设的实验证明有效性。使用ARS设备测量散布分布（r.m.s.粗糙度和自相关长度。使用具有r.m.s.特征的样品进行了研究。粗糙度从0.5nm到约25nm。它们显示出使用积分器和其他仪器获得的结果的良好兼容性，并确认了初始假设的正确性。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号