...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Przeglad Elektrotechniczny >A review on echo and phase inverted scanning in acoustic microscopy for failure analysis
【24h】

A review on echo and phase inverted scanning in acoustic microscopy for failure analysis

机译：声学显微镜中回声和相位反相扫描的综述，以进行故障分析

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

This paper is a review on the part of the failure analysis in the semiconductor region, especially in the integrated circuit (IC) design. Initially, the literature review depends on the keyword of acoustic-microscopy. Then, it followed by the example on the scanning acoustic-microscope (SAM), confocal scanning acoustic-microscope (CSAM), and C-mode scanning acoustic-microscope (C-SAM) technique. These three SAM techniques are used in various situation and have a different effect on the sample. Previous works on SAM, C-SAM and CSAM related technologies are reviewed by many researchers in this paper.
机译：本文是关于半导体区域的故障分析部分的综述，尤其是集成电路（IC）设计。 最初，文献综述取决于声学显微镜的关键词。 然后，在扫描声学显微镜（SAM），共聚焦扫描声学 - 显微镜（CSAM）和C模式扫描声学 - 显微镜（C-SAM）技术上之后。 这三种SAM技术用于各种情况，对样品产生不同的影响。 上一篇关于SAM，C-SAM和CSAM相关技术的作品是由本文的许多研究人员审查的。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号