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Applications in micro- and nanoelectromechanical systems

机译：在微和纳米机电系统中的应用

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Microelectromechanical systems (MEMS) are miniaturized sensors, actuators, devices and systems with a critical dimension of the order of micrometers. Advances in micromachining technology have led to significant progress in the area of MEMS. Micromachined devices such as accelerometers, gyroscopes, high performance mirror displays, pressure sensors, micromotors, microengines, RF switches, valves, pumps, thermally and chemically sensitive membranes, single-chip microfluidic systems such as chemical analyzers or synthesizers, single-chip micro-total-analysis systems (also referred to as lab-on-a-chip) and many more devices and systems have been designed and fabricated over the last one to two decades.
机译：微机电系统（MEMS）是微型传感器，致动器，设备和系统，其临界尺寸为微米级。微加工技术的进步已导致MEMS领域的重大进步。加速度计，陀螺仪，高性能镜面显示器，压力传感器，微电机，微引擎，RF开关，阀，泵，热和化学敏感膜等微机械设备，化学分析仪或合成器等单芯片微流体系统，单芯片微系统在过去的一到二十年中，已经设计和制造了总分析系统（也称为芯片实验室）和更多的设备和系统。

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