反応性固相エピタキシャル成長法

杉浦健二; 太田裕道

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反応性固相エピタキシャル成長法

机译：反应性固相外延生长法

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「反応性固相エピタキシャル成長法」により，従来はエビタキシャル薄膜化が不可能だった層状複合酸化物の高品質エビタキシヤル薄膜が作製できるようになった。本稿では，一例として，近年熟電変換材料として期待されている層状コバルト酸化物のユニークなエビタキシヤル薄膜作製手法について紹介する。

机译：“反应性固相外延生长法”使得可以制造层状复合氧化物的高质量外延薄膜，这以前不可能制成外延薄膜。在本文中，作为示例，我们将介绍一种独特的生产层状氧化钴薄膜的方法，该方法有望作为近年来的老化转换材料。

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来源
《機能材料》 |2008年第3期|p.27-33|共7页
作者
杉浦健二; 太田裕道;
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作者单位

名古屋大学大学院　工学研究科;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类工程基础科学;工程材料学;
关键词

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