フラツクスエビタキシー：酸化物完全単結晶薄膜への挑戦

松本祐司

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フラツクスエビタキシー：酸化物完全単結晶薄膜への挑戦

机译：助焊剂外延：挑战氧化物单晶薄膜

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従来の薄膜気相成長では，非平衡プロセスであるがゆえに，多結晶化や蒸気圧の違いによる組成ずれ，異相制御などの問題が，組成と構造がより複雑な酸化物薄膜の高品質化を阻んでいる。ここでは，こうした問題を解決する一つのアプローチとして，フラックス溶液を高温・真空下で安定化し，気相薄膜プロセスと組み合わせた“フラックスエビタキシー”法について紹介する。

机译：在常规的薄膜气相外延中，由于它是非平衡工艺，因此引起诸如多晶化，由于蒸汽压差而引起的成分偏移以及相控不同的问题。正在阻止。在这里，作为解决这些问题的一种方法，我们将介绍“助焊剂evitax”方法，其中助焊剂溶液在高温和真空下稳定，并与气相薄膜工艺结合。

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来源
《機能材料》 |2008年第3期|p.21-26|共6页
作者
松本祐司;
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作者单位

東京工業大学　応用セラミックス研究所;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类工程基础科学;工程材料学;
关键词

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