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高俊宁; 郝智彪; 鄂炎雄; 钮浪; 汪莱; 孙长征; 熊兵; 韩彦军; 王健; 李洪涛; 罗毅; 李国强;
中国电子学会;
声表面波器件; 氮化铝单晶薄膜; 分子束外延; 工艺优化;
机译:通过等离子体辅助分子束外延(MBE)制备的硅衬底上的AlN / GaN和AlN / AlGaN / GaN薄膜的结构和光学性质
机译:激光分子束外延外延生长Al和N极性AlN薄膜的光学性能
机译:准分子激光退火:有效激活等离子辅助分子束外延生长的AlN薄膜中Si掺杂剂的替代途径及其优化
机译:分子束外延的Cr(100)单晶底层SM-CO外延薄膜的制备
机译:Heusler型单晶铁磁形状记忆薄膜的分子束外延生长和相变行为。
机译:蓝宝石衬底上具有纳米尺度厚AlN成核层的高质量无裂纹AlN薄膜的异质外延生长用于基于AlGaN的深紫外发光二极管
机译:等离子辅助分子束外延沉积alN介质薄膜的充放电过程
机译:射频磁控溅射和离子辅助分子束外延生长alN薄膜的比较
机译:分子束外延装置以及使用分子束外延装置制造III族氮化物的立方单晶薄膜的方法
机译:ALN材料单晶膜外延生长的ALN材料和底物的单晶膜的制造方法
机译:分子束外延生长形成的薄膜的导电类型的控制方法及使用该方法的分子束外延装置
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