Two-Axis MEMS Lens Alignment System for Free-Space Optical Interconnect

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• 来源
  《Selected Topics in Quantum Electronics, IEEE Journal of》 |2011年第3期|p.559-565|共7页
• 作者

  Yoxall B. E.; Walmsley R.; Kuo H.-P.; Wang S.-Y.; Tan M.; Horsley D. A.;

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• 作者单位

  Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Davis, USA;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  Alignment stage; microelectromechanical systems (MEMS); optical interconnect; piezoelectric ultrasonic stepper motor; two-axis actuator;

  机译：对准台;微机电系统（MEMS）;光学互连;压电超声步进电机;两轴致动器;