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【24h】

Performance of a Raster Scanning Laser Display System Using Diamond Shaped Frame Supported Micromirror

机译：使用菱形框架支持的微镜的光栅扫描激光显示系统的性能

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We describe the design, fabrication, and experimental results of a raster scanning laser display system using micromachined electrostatic scanning micromirror. The micromirror is comprised of a diaphragm mirror plate supported by an array of diamond shaped support frame, and movable comb electrodes. A prototype raster scanning laser display system using the fabricated micromirror, having optical scan angle of 16.9 deg at resonance frequency of 19.55 kHz, as the horizontal scanner was developed and tested. To compensate for the nonlinear characteristics of the scanner, a simple image correction method was developed, and the projected image was analyzed and compared with the simulation results.
机译：我们描述了使用微机械静电扫描微镜的光栅扫描激光显示系统的设计，制造和实验结果。微镜由隔膜镜板和可动梳状电极组成，该隔膜镜板由一系列菱形支撑框架支撑。研制并测试了一种使用预制微镜的光栅扫描激光显示系统原型，该系统在水平扫描仪的共振频率为19.55 kHz时具有16.9度的光学扫描角。为了补偿扫描仪的非线性特性，开发了一种简单的图像校正方法，并对投影图像进行了分析并与仿真结果进行了比较。

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