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Room-Temperature Operation of Patterned Quantum-Dot Lasers Fabricated by Electron Beam Lithography and Selective Area Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

机译:电子束光刻和选择性区域金属有机化学气相沉积法制造的图案化量子点激光器的室温操作

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摘要

We have developed a quantum-dot fabrication process which allows for explicit definition of the location and lateral dimension of quantum dots using electron beam lithography and selective area metal-organic chemical vapor deposition. We have demonstrated the first reported room-temperature operation of a patterned quantum-dot edge-emitting laser based on this fabrication technique.
机译:我们已经开发了一种量子点制造工艺,该工艺可以使用电子束光刻和选择性区域金属有机化学气相沉积技术来明确定义量子点的位置和横向尺寸。我们已经证明了基于这种制造技术的首次报道的图案化量子点边缘发射激光器的室温操作。

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