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An automated meniscus coating system for polymer deposition on large-area MCM-D and MCM-L substrates

机译：用于在大面积MCM-D和MCM-L基材上沉积聚合物的自动弯月面涂层系统

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《IEEE transactions on electronics packaging manufacturing》 |2000年第4期|P.236-236|共1页
作者
Bhattacharya S.K.; Bhatevara S.;
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1. An automated meniscus coating system for polymer deposition on large-area MCM-D and MCM-L substrates [J] . Bhattacharya S.K., Bhatevara S. IEEE transactions on electronics packaging manufacturing . 2000,第4期

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