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机译:具有微热执行器的双阶段执行系统的高带宽控制设计和实现
$^{1}$School of Electrical and Electronics Engineering,, Nanyang Technological University,, Singapore , Singapore;
Bandwidth; Microactuators; Resonant frequency; Sensitivity; Servomotors; Suspensions; Dual-stage servo systems; hard disk drives (HDDs); microthermal actuator (MTA); servo control;
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