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MEMS热微执行器的研究

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本文对于V型梁结构微执行器,理论研究表明V型梁的长度、宽度、厚度和初始偏置角度等几何参数对微执行器的性能存在直接影响.在结构参数优化的基础上,本文采用DRIE技术在SOI硅片上制作出V型梁微执行器.试验结果表明,优化后的V型梁并联5梁阵列,在直流电压的驱动下能提供90mN执行力,同时还能输出5.6μm的直线位移,具有体积小,执行力大,结构简单,容易控制等特点.

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来源
《第九届全国敏感元件与传感器学术会议》|2005年|489-492|共4页
会议地点西安
作者
杨静; 蒋庄德; 西安交通大学精密工程研究所;
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作者单位

中国电子学会;

中国航空学会;

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
微执行器; DRIE; SOI; 性能测试;

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