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目录
第1章 绪论
1.1 MEMS的基本概念及特点
1.2 MEMS技术在军事领域的应用
1.3 MEMS技术在引信用MEMS微执行器中的应用
1.4 MEMS微执行器的主要制造技术
1.5 研究的内容和意义
第2章 引信用MEMS微执行器的工作原理和基本构成
2.1 引信用MEMS微执行器的工作原理
2.2 引信用MEMS微执行器的基本构成
2.3 本章小结
第3章 引信用MEMS微执行器的设计和分析
3.1 引信用MEMS微执行器的总体设计
3.2 引信用MEMS微执行器设计方案的具体分析
3.3 引信用MEMS微执行器实体模型建立与仿真
3.4 本章小结
第4章 引信用MEMS微执行器基于UV-LIGA技术的加工
4.1 UV-LIGA技术重点工艺介绍
4.2 引信用MEMS微执行器中微小器件制作工艺
4.3 本章小结
第5章 引信用MEMS微执行器基于微细电火花加工方法的研究
5.1 微细电火花加工参数优化对加工质量的影响
5.2 微细电火花中微细电极的制备
5.3 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果
致谢