MEMS多层悬梁微执行器的电-热分析模型研究

蒋剑良

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MEMS多层悬梁微执行器的电-热分析模型研究

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在约定的工作条件下,列出了MEMS多层悬梁微执行器热传递方程和初始条件、边界条件,并得到解析解,建立了电-热分析模型.利用Matlab软件包和ANSYS软件包分别进行解析解分析和三维有限元分析,并进行比较.结果表明在500K附近静态/稳态工作时,对于材料层厚度di 展开▼

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来源
《北京理工大学学报》 |2005年第6期|512-516|共5页

作者
蒋剑良;
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作者单位

北京理工大学信息科学技术学院光电工程系;

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原文格式 PDF

正文语种 chi

中图分类金属－非金属复合材料;

关键词
微机电系统; 多层悬梁微执行器; 解析模型; 电-热分析;

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