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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing >Effective excursion detection by defect type grouping in in-line inspection and classification
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Effective excursion detection by defect type grouping in in-line inspection and classification

机译：在线检查和分类中按缺陷类型分组进行有效的偏移检测

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摘要

In this paper, a new methodology for effective process excursion monitoring using defect review/classification information is proposed. We introduce a new defect classification scheme, in which relevant defect types that are likely to be caused by the same mechanism or source are grouped into a "defect family". It is demonstrated that trending by the defect family drastically improves the detection efficiency of killer defect excursion by reducing or eliminating noise resulting from irrelevant benign defects. We compare the risks of missing critical excursions for monitoring by total defect count, killer defect count, and killer defect family, and illustrate the effectiveness of our methodology using data from actual fabline.
机译：本文提出了一种使用缺陷评审/分类信息进行有效过程偏移监控的新方法。我们引入了一种新的缺陷分类方案，其中可能由相同机制或来源引起的相关缺陷类型被分组为“缺陷族”。结果表明，缺陷族的趋势通过减少或消除由无关的良性缺陷引起的噪声，极大地提高了杀手缺陷偏移的检测效率。我们通过总缺陷数，致命缺陷数和致命缺陷家族来比较缺少关键偏移的风险，以进行监控，并使用来自实际fabline的数据来说明我们的方法的有效性。

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