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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control >Measurements of frequency fluctuations in aluminum nitride contour-mode resonators
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Measurements of frequency fluctuations in aluminum nitride contour-mode resonators

机译：氮化铝轮廓模式谐振器中频率波动的测量

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As part of the current drive to engineer miniaturized monolithic high-performance microelectromechanicalenabled oscillators, there is a need for further study of frequency fluctuations in microelectromechanical resonators. To this end, we present the measurement of frequency fluctuations for 128 aluminum nitride contour-mode resonators. The measurements show that fluctuations are sufficiently large to play an important role in oscillator performance. These results were obtained for the first time from vector network analyzer measurements and are accompanied by an analysis of the experimental setup.
机译：作为设计微型单片高性能微机电振荡器的当前驱动的一部分，需要进一步研究微机电谐振器中的频率波动。为此，我们介绍了128个氮化铝轮廓模式谐振器的频率波动测量。测量结果表明，波动很大，足以在振荡器性能中发挥重要作用。这些结果是首次从矢量网络分析仪测量中获得的，并伴随着对实验装置的分析。

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