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首页> 外文期刊>Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, IEEE Transactions on >New fabrication of high-frequency (100-MHz) ultrasound PZT film kerfless linear array [Correspondence]
【24h】

New fabrication of high-frequency (100-MHz) ultrasound PZT film kerfless linear array [Correspondence]

机译：高频（100 MHz）超声PZT薄膜无切口线性阵列的新制造[对应]

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The paper describes the design, fabrication, and measurements of a high-frequency ultrasound kerfless linear array prepared from hydrothermal lead zirconate titanate (PZT) thick film. The 15-??m hydrothermal PZT thick film with an area of 1 ?? 1 cm, obtained through a self-separation process from Ti substrate, was used to fabricate a 32-element 100-MHz kerfless linear array with photolithography. The bandwidth at ??6 dB without matching layer, insertion loss around center frequency, and crosstalk between adjacent elements were measured to be 39%, ??30 dB, and ??15 dB, respectively.
机译：本文介绍了由水热锆钛酸钛酸铅（PZT）厚膜制备的高频超声无节距线性阵列的设计，制造和测量。 15 ?? m的热液PZT厚膜，面积为1？通过自分离工艺从Ti基板获得的1厘米，用于通过光刻技术制造32个元素的100 MHz无节距线性阵列。在没有匹配层的情况下，在?? 6 dB时的带宽，中心频率附近的插入损耗以及相邻元件之间的串扰测得分别为39％、? 30 dB和?? 15 dB。

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